|
компактная структура
|
|
|
входная мощность
|
-
однофазный 220 В переменного тока 50/60 Гц
-
2000 Вт (включая вакуумный насос и охладитель воды)
|
|
источник питания
|
-
три источника распыления интегрированы в один блок управления (нажмите на картинку ниже, чтобы увидеть подробные характеристики)
-
Источник постоянного тока: мощность 500 Вт для покрытия металлических материалов (рис. 1)
-
ВЧ источник: мощность 300 Вт, частота 13,56 МГц для покрытия непроводящих материалов (рис. 2)
|
|
магнетронная распылительная головка
|
-
три 2 "магнетронных распылительных головки с водяным охлаждением и жалюзи включены
-
также доступна одна модель распылительной головки.
-
Требуемое значение размера: диаметр 2 "
-
диапазон толщины: 0,1 - 5 мм для металлических и непроводящих целей (включая опорную плиту)
-
один мишень из нержавеющей стали и один исследовательский класс цель al2o3 включены для демонстрационного тестирования
-
дополнительные 2-дюймовые мишени для распыления (или подложка) доступны по запросу за дополнительную плату.
-
рекомендуемый рецепт распыления и полезные советы
-
индивидуальная установка для нанесения покрытий: два DC - один RF; два рф - один постоянный ток; три постоянного тока; три рф (пожалуйста, выберите из вариантов продукта)
-
опционально: 148 см ВЧ-кабель можно заказать за дополнительную плату для замены
|
|
вакуумная камера
|
-
вакуумная камера: диаметр 300 мм высота 300 мм, из нержавеющей стали
-
окно просмотра: две части диаметром 100 мм. стакан. один фиксированный; один съемный для очистки и замены
-
крышка навесного типа с пневматической опорой позволяет легко менять цель
|
|
этап отбора проб
|
-
Держатель образца представляет собой вращающуюся и нагреваемую сцену из керамического нагревателя с медной крышкой
-
Размер держателя образца: диаметр 140 мм. за. 4 "пластина макс
-
скорость вращения: 1 - 20 об / мин регулируется для равномерного покрытия
-
температура держателя регулируется от rt до 500 ° C (максимум 2 часа) с точностью +/- 1,0 ° C с помощью цифрового контроллера температуры
|
|
управление потоком газа
|
-
Два прецизионных регулятора массового расхода (MFC) установлены, чтобы позволить вход двух газов
-
скорость потока: 0 - 200 мл / мин & amp; 0 - 100 мл / мин регулируется на сенсорной панели управления
-
клапан впуска воздуха установлен для выпуска вакуума
|
|
вакуумная насосная станция
|
-
мобильная насосная станция включена. установка для распыления может быть размещена в верхней части станции
-
высокоскоростной турбонасос со скоростью 80 л / с в сочетании с двухступенчатым механическим насосом (220 л / мин) для максимального уровня вакуума и более высокой скорости откачки
-
стандартный уровень вакуума, связанный с камерой: & lt; 4.0e-5 торр. , (1.0e-6 торр с камерой выпечки)
-
опционально за дополнительную плату
-
Если выбрать высокоскоростной турбонасос со скоростью 150 л / с, вакуум может достигать 10-6 Торр с камерой (6x10-7 Торр с выпеканием)
-
для сверхвысокого вакуума до 10-7 торр, в дополнение к турбонасосу, необходим геттерный насос (100 л / с х2 и o2). пожалуйста, проконсультируйтесь с нашими инженерами для подробной настройки.
-
Высокоскоростной турбонасос 150 л / с
-
геттерный насос
-
|
|
охладитель воды
|
-
один цифровой контроль температуры чиллер с рециркуляцией воды Включено.
-
диапазон охлаждения: 5 ~ 35 ° C
-
скорость потока: 16 л / мин
-
давление насоса: 14 фунтов на квадратный дюйм
|
|
необязательный
|
-
точный кварц монитор толщины пленки является необязательным, который может быть в камере для контроля толщины покрытия с точностью до 0,10 Å
-
точность тонкая пленка & amp; системы анализа покрытий - eq-tfms-ld доступен за дополнительную плату
-
Различные 2 ”оксидные и металлические мишени доступны по запросу за дополнительную плату. Серебряные эпоксидные и медные подложки можно заказать в tmax
|
|
Габаритные размеры
|
|
|
вес нетто машины для нанесения покрытий
|
|
|
вес груза и размеры
|
-
всего 3 поддона
-
365 фунтов, 48 "x 40" x 45 "
-
390 фунтов, 48 "x 40" x 49 "
-
210 фунтов, 48 "x 40" x 30 "
|
|
соблюдение
|
-
утверждение CE
-
Соответствующая сертификация (ul 1450) предоставляется по запросу за дополнительную плату, пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым представителем для уточнения стоимости.
|
|
гарантия
|
-
ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой
|
|
замечания по применению
|
-
двухступенчатый регулятор давления (не входит в комплект) должен быть установлен на газовом баллоне, чтобы ограничить выходное давление газа ниже 0,02 мПа для безопасного использования
-
чтобы удалить кислород из камеры, tmax предлагает вам использовать 5% водород + 95% азот для очистки камеры 2-3 раза, что может снизить уровень кислорода до & lt; 10 промилле
-
пожалуйста, используйте & gt; Газообразный аргон 5n для плазменного напыления. хотя чистота 5n обычно содержит 10-100 частей на миллион кислорода и воды в зависимости от поставщика. Tmax предлагает вам использовать газоочистное устройство очистить газ перед заправкой.
-
для лучшей производительности, непроводящие цели должны быть установлены с медным опорной плитой. пожалуйста, обратитесь к видео инструкции ниже для целевого соединения
-
Лит поставляет монокристаллическую подложку от А до Я
-
лит установки для напыления успешно нанесли покрытие 2 о 3 субстрат при 500 ° С
-
проверить гибкость тонкой пленки / покрытого электрода с тестер изгиба оправки eq-mbt-12-ld ,
-
высокое напряжение! распыляющие головки подключаются к высокому напряжению. в целях безопасности оператор должен отключить генератор ВЧ / постоянного тока перед загрузкой образца и операциями смены цели
-
не используйте водопроводную воду в охладителе воды. необходимо использовать антикоррозионные охлаждающие жидкости для предотвращения ржавчины и коррозии.
|
Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
