|
структура & amp; функции
|
-
6 "х 10" ч кварцевая камера для легкой очистки и загрузки образцов
-
Вращающийся держатель образцов диаметром 2 дюйма для равномерного пленочного покрытия
-
нагреватель вольфрамовой катушки и глиноземный тигель для высокотемпературного покрытия до 1700 ºC
-
точный контроль температуры с 30 программируемыми сегментами и точностью +/- 1 ºC
-
высокий вакуум может достигаться до 1,0e-5 торр с помощью дополнительного турбонасоса
-
порт подачи газа и клапан встроены для продувки камеры и возможности cvd
|
|
входная мощность
|
-
входное напряжение: 208 - 240 В, 50/60 Гц, однофазное
-
потребляемая мощность: 500 Вт
-
Выходная мощность: 40 макс. ток. рекомендуемый рабочий ток & lt; 20 а
-
кабель питания в комплекте без штекера
|
|
контроль температуры & amp; обогреватели
|
В нижней части глиноземного тигля встроен нагреватель с вольфрамовой катушкой и термопарой (для контроля температуры (рис. 1). Размеры указаны на левом рисунке).
-
стандартная термопара типа s (входит в комплект и устанавливается) - нагрев от 200 ° C до 1500 ° C (рис. 2)
-
дополнительная термопара b-типа (за дополнительную плату) - нагрев от 1200 ºc до 1700 ºc
-
один цифровой регулятор температуры с 30 программируемыми сегментами и точностью +/- 1 ºC (рис. 3)
-
настройки времени регулятора температуры указаны в секундах. Рекомендуется ограничить скорость нагрева / охлаждения до 0,3 ºC / с (или 20 ºC / мин) ниже 1200 ºC, и ограничить до 0,15 ºc / с (или 10 ºc / мин) от 1200 - 1700 ºc.
-
для непрерывного нагрева выше 1300 ºc, пожалуйста, ограничьте время работы до 1 часа, чтобы сохранить срок службы уплотнительного кольца нижнего фланца.
-
Для быстрого нанесения покрытия до 2000 ° C, например, необходимого для углеродного покрытия, пользователь может удалить термопару, глиноземный термоблок и глиноземный тигель, загрузить испарительный материал непосредственно в нагреватель вольфрамовой катушки и использовать текущий режим ручного управления (рис. 4). )
-
в комплект входят четыре тигля из глинозема (до 1700 ºC) и два вольфрамовых нагревателя. пожалуйста, обратитесь к дополнительному разделу для заказа запасных частей
|
|
держатель образца
|
-
один диаметр 50 мм вращающийся образец ступени и его заслонка установлены на верхнем фланце.
-
скорость вращения: 5 об / мин
-
расстояние от держателя образца до источника испарения регулируется от 40 мм до 85 мм.
|
|
монитор толщины пленки (опция)
|
прецизионный кварцевый датчик толщины необязательно. он может быть встроен в камеру для обеспечения мгновенного контроля толщины пленки с точностью 0,10 Å. Светодиодный дисплейный блок снаружи камеры может:
·
-
входная информация о материале покрытия на основе включенной базы данных
-
отображать общую толщину покрытия и скорость покрытия
-
точность тонкая пленка & amp; системы анализа покрытий - eq-tfms-ld доступен за дополнительную плату
|
|
вакуум
|
-
Вакуумный порт KF25 установлен для подключения к вакуумному насосу
-
самый высокий вакуум может достигать & lt; 4,0e-6 торр при прокачке в течение ночи с помощью дополнительного турбомолекулярного насоса
-
вакуумный насос требуется для покрытия. пожалуйста, выберите из следующих вариантов продукта
-
нет вакуумного насоса. антикоррозийный емкостный мембранный манометр включен для вакуума до 1.0e-6 торр
-
Двухступенчатый лопастной вакуумный насос с уловителем пара для устранения масляного тумана, который может достигать вакуума до 1,0e-2 Торр для испарения благородных металлических материалов, таких как золото, серебро и органические материалы.
-
|
|
впуск газа
|
-
1/4 трубный фитинг встроен для продувки камеры или обработки газа
-
один игольчатый клапан встроен для контроля скорости потока газа
|
|
необязательный
|
-
дополнительный глинозем тигель а также нагреватель вольфрамовой катушки можно заказать в tmax за дополнительную плату
-
Всего 4 тигля с испаряющимися источниками могут быть использованы для нанесения нескольких различных материалов для выращивания многослойных материалов один за другим в одной и той же атмосфере камеры.
|
|
габаритный размер
|
|
|
размер кварцевой камеры
|
o.d.:165mm
внутренний диаметр 150 мм
длина: 250мм
|
|
соблюдение
|
|
|
гарантия
|
-
ограниченная гарантия на один год с пожизненная поддержка
|
|
вес нетто
|
|
|
вес груза и размеры
|
-
130 фунтов, 40 "x 30" x 32 "
|
|
замечания по применению
|
-
для достижения высокого вакуума, необходимого для испарения некоторых материалов, пользователь может
-
проверьте камеру, уплотнительное кольцо и фланец на наличие частиц, волокон или царапин. используйте ткань без ворса, смоченную изопропиловым спиртом (Ipa), чтобы протереть поверхность
-
используйте нагревательную ленту для обжига камеры при 150 ºC и предварительного нагревания нагревателя змеевика и тигля при 500 ºc при перекачивании с помощью дополнительного турбонасоса в течение не менее 2 часов
-
перекачивать камеру в течение ночи без нагрева, если требуется вакуум выше 1,0e-5 Торр
-
устройство для нанесения покрытий может быть помещено в перчаточный ящик с газом Ar или N2 для термического испарения смирения и усиления; материалы, чувствительные к кислороду, такие как металлический литий.
-
не запускайте программу отопления и не увеличивайте ток вручную без закрытой камеры и вакуума!
-
не выпускайте вакуум и не прекращайте прокачку, когда устройство для нанесения покрытий находится в режиме испарения! во время остывания нагревателя прекратите прокачивание или сбросьте вакуум только при снижении температуры ниже 100 ° С!
|
Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
