|
входная мощность
|
-
220 В переменного тока, 50/60 Гц, однофазный
-
800 Вт (включая насос)
-
если напряжение составляет 110 В переменного тока, требуется трансформатор мощностью 1000 Вт, пожалуйста, щелкните левую картинку, чтобы заказать
|
|
источник питания
|
-
один 13,5 МГц, 300 Вт высокочастотный генератор с автоматическим согласованием Функция встроена в шкаф и подключена к 2 "распылительной головке.
-
опционально: источник постоянного распыления доступен для покрытия металлического материала
|
|
магнетронная распылительная головка
|
-
одна 2 "магнетронная распылительная головка с рубашками водяного охлаждения входит в комплект и вставляется в кварцевую камеру с помощью быстрого зажима
-
одна заслонка встроена во фланец (с ручным управлением)
-
один охлаждающий охладитель с рециркуляцией воды 16 л / мин необходим для охлаждения магнетронных распылительных головок
-
1 "распылительная головка сменная и дополнительная за дополнительную плату
-
ВЧ-кабель 148 см заменяется за дополнительную плату
-
|
|
мишень для распыления
|
-
Требуемое значение размера: 2 "диаметр х 1/4" толщина макс.
-
одна цель sio2 включена для демонстрационного теста.
-
керамическая мишень al2o3 рекомендуем метод нанесения покрытия
-
дополнительно 2" мишени распыление (с опорной пластиной) предоставляется по запросу за дополнительную плату.
|
|
вакуумная камера
|
-
вакуумная камера: 160 мм х 150 мм и х 250 мм высотой. изготовлен из кварца высокой чистоты
-
уплотнительный фланец: диаметр 165 мм из алюминия с высокотемпературным силиконовым уплотнительным кольцом
-
сетчатая крышка из нержавеющей стали включена для 100% экранирования ВЧ-излучения от камеры
-
уровень вакуума: 1,0e-2 торр с двухступенчатым механическим насосом и 1,0e-5 торр с дополнительным турбонасосом
|
|
держатель образца
|
-
держатель образца вращается и нагревается из керамического нагревателя с крышкой из нержавеющей стали
-
Размер держателя образца: диаметр 50 мм. для 2-дюймовой пластины
-
Скорость вращения регулируется: 1 - 10 об / мин для равномерного покрытия
-
температура держателя регулируется от rt до 500 ° C макс. с точностью +/- 1,0 ° C с помощью цифрового регулятора температуры.
-
Держатель образца для нагрева 800-1000ºC предоставляется по запросу по запросу.
-
Опциональное удержание образца вибрации доступно для силового ПВХ покрытия. (рис. 3 ниже)
-
|
|
вакуумная насосная станция
|
-
Вакуумный порт kf25 встроен для подключения к вакуумному насосу.
-
требуется вакуумный насос с адаптером kf25, но не входит в комплект поставки. щелкните изображение, чтобы заказать его отдельно.
-
уровень вакуума: 1,0e-2 торр с двухступенчатым механическим насосом и 1,0e-5 торр с турбонасосом
|
|
необязательный
|
-
Точный кварцевый датчик толщины является дополнительным, который может быть встроен в камеру для контроля толщины покрытия с точностью до 0,10 Å. ноутбук необходим для отображения толщины корве
-
|
|
Габаритные размеры
|
|
|
вес нетто
|
|
|
гарантия и соблюдение
|
-
ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой
-
сертифицированный CE
-
Сертификация nrtl или csa предоставляется по запросу за дополнительную плату.
|
|
замечания по применению
|
-
Этот компактный 2 "высокочастотный магнетронный распылитель предназначен для нанесения оксидных тонких пленок на оксидные монокристаллические подложки, которые обычно не требуют установки в высоком вакууме.
-
пожалуйста, используйте & gt; Газ чистоты 5n для плазменного напыления
-
Для лучшей адгезии пленки к подложке, пожалуйста, очистите поверхность подложки перед нанесением покрытия:
-
ультразвуковая очистка с использованием следующих последовательных ванн - (1) ацетона, (2) изопропилового спирта - для удаления масла и жира. высушить подложку с помощью n2, затем выпекать в горячем состоянии в вакууме для удаления поглощенной влаги
-
плазменная очистка может потребоваться для шероховатости поверхности, активации поверхностных химических связей или дополнительного удаления загрязнений
-
тонкий буферный слой (~ 5 нм), такой как cr, ti, mo, ta, может быть нанесен для улучшения адгезии металлов и сплавов
-
для лучшей производительности, непроводящие цели должны быть установлены с медным опорной плитой. пожалуйста, обратитесь к видео инструкции ниже (# 3) для целевого соединения
-
Tmax использует устройства для нанесения покрытий, которые успешно наносят покрытие 2 о 3 подложка при температуре 500 ° C (профиль xrd на рис. 5)
-
не используйте водопроводную воду в охладителе воды. используйте ди-воду, дистиллированную воду или антикоррозийные добавки в качестве красителя.
-
|
Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
