Отправить по электронной почте:Louis@lithmachine.com
Продукция
Главная Продукция Lab Coater Sputtering Coater

Компактная установка для нанесения покрытия методом магнетронного напыления с интеграцией PLC

Свяжитесь с нами

  • Contact Person : Louis Yang
  • Отправить по электронной почте : Louis@lithmachine.com
  • Адрес : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
Компактная установка для нанесения покрытия методом магнетронного напыления с интеграцией PLC

Компактная установка для нанесения покрытия методом магнетронного напыления с интеграцией PLC

  • :

    VTC-16-SM
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

    5 days
  • Отправить по электронной почте :

    Louis@lithmachine.com

Компактная установка для нанесения покрытия методом магнетронного напыления с интеграцией PLC



VTC-16-см является Высокая мощность рабочий стол магнетрон установка для плазменного напыления с водяное охлаждение 2 "целевая головка , охладитель воды и вращающийся держатель образцов. установка для нанесения покрытия предназначена для покрытия всех металлических пленок до 4 "диаметр пластины в том числе zn, al, ti и углерод легкая пленка по доступной стоимости. одна мишень включена для немедленного использования. ( с 18 мая 2015 года этот продукт больше не поставляется с вакуумным насосом в стандартной упаковке. )

технические характеристики

входное напряжение

  • 220 В переменного тока 50/60 Гц
  • Питание 110 В доступно при использовании Трансформатор мощностью 1000 Вт (15 предохранителей) ). трансформатор продается отдельно.

выходная мощность

  • 1600 В постоянного тока
  • 250 Вт
  • Макс. 150 мА
  • встроенная защита от перегрузки по току (& gt; 150 мА)

камера для образцов

  • трубка из кварцевого стекла, 165 мм од. х 150 мм и х 250 мм высота


распыление головы & amp;
стадия образца


  • В комплект входит 2 "гибкая магнетронная распылительная головка с рубашкой водяного охлаждения (рис.1)
  • одна ступень образца из нержавеющей стали диаметром 50 мм с возможностью вращения от 0 до 5 об / мин
  • один управляемый вручную затвор для защиты цели. (Рис.2)
  • Держатель распылительной головки предназначен для удерживания распылительной головки в нерабочем состоянии.
  • расстояние между распылительной головкой и столиком для образца регулируется от 60 до 100 мм.
  • максимальная площадь покрытия: 4 "диаметр макс.
  • один охладитель с рециркуляцией воздуха на холоде 10 л / мин включен для охлаждения распылительной головки. (Рис.6)

панель управления

  • 6 "цветная сенсорная панель управления с интегрированным ПЛК для простоты эксплуатации
  • одна панель для всех параметров контроля и управления: вакуум, ток.

предельное вакуумное давление

  • встроенный вакуумный порт KF25
  • Система требует газового баллона с регулятором давления. (не включено)
  • & Lt; 1.0e-2 торр лопастной вакуумный насос (не входит в комплект) для целей au, ag, pt, cu, mo (не чувствительных к воздуху)
  • & Lt; 1.0e-5 торр турбомолекулярный насос (не входит в комплект) для целей al, mg, li, lr, ti, zn (чувствительных к воздуху)
  • самый низкий вакуум может достигать & lt; 4.0e-6 торр закачкой на ночь и выпеканием

газовая атмосфера

  • один игольчатый клапан, установленный для впуска газа, для лучшего плазменного покрытия
  • система требует газового баллона с регулятором давления (не входит в комплект)


цель

· одна 2-дюймовая медная мишень включена для тестирования, размер мишени: 2 "диаметр 2,5 мм.

  • это также может покрыть ag, al, cr, ni, pt, ti, sn, li, мг и т. д. практически каждый вид металлического материала.
  • предупреждение: мишень из алюминия, хрома или никеля Можно наносить на эту машину, но перед использованием просмотрите рекомендуемый метод нанесения покрытия.
  • пожалуйста, используйте высокочастотное плазменное магнетронное распыление для покрытия оксида алюминия

дополнительный монитор толщины пленки

  • монитор толщины пленки является опциональным за дополнительную плату
  • нагреваемый образец до 500 ° C предоставляется по запросу за дополнительную плату
  • Расходомер для точного контроля подачи газа предоставляется по запросу за дополнительную плату.

габаритный размер

  • l 440 мм × ш 330 мм × ч 290 мм

вес нетто

  • 20 кг

вес груза и измерение

  • 160 фунтов
  • 45 "х 45" х 40 "

соблюдение

  • утверждение CE
  • Сертификация nrtl предоставляется по запросу за дополнительную плату, пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым представителем для уточнения стоимости.

гарантия

  • один год ограничен пожизненной поддержкой

замечания по применению

  • предупреждение: распылительная головка подключается к высокому напряжению. оператор должен носить перчатки во время работы
  • Перед нанесением покрытия убедитесь, что цель, распылительная головка, подложка и нагревательный элемент чистые, необходимо использовать наждачную бумагу и спирт для очистки и обновления алюминиевой или никелевой мишени каждый раз при использовании.




Magnetron Sputtering Coater









пакет:

1 стандартная экспортируемая упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя экспортная упаковка из деревянной коробки.

2 доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3 ответственность за повреждение во время процесса доставки, заменит поврежденную часть для вас бесплатно.

срок поставки : 15-20 дней после подтверждения заказа, дата доставки должна быть определена в соответствии с

сезон производства и количество заказа.