Машина для нанесения покрытия с 3 вращающимися мишенями для плазменного напыления с нагревателем 500с

:
VTC-16-3HD-LD
MOQ :
1
Compliance:
CE Certified
Warranty:
1 year
Delivery Time:
5 days
Отправить по электронной почте :
Louis@lithmachine.com

Машина для нанесения покрытия с 3 вращающимися мишенями для плазменного напыления с нагревателем 500с

vtc-16-3hd-ld - сертифицированный CE компактный трехступенчатый мишень для плазменного распыления с цифровым контроллером с сенсорным экраном и нагревателем подложки, способный нагреваться до 500 ° C. Он может покрывать 1–3 типа металлических материалов для образцов диаметром до 50 мм. три мишени для распыления: золото, серебро, медь включены для немедленного использования. ( обновлено 21 августа 2015: добавить щит / без насоса )

технические характеристики:

входная мощность	однофазный 220 В переменного тока, 50/60 Гц 700 Вт (включая вакуумный насос) для использования 110 В переменного тока мы включим трансформатор для вас. пожалуйста, выберите напряжение в опциях продукта
выходная мощность	1600 В постоянного тока 40 ма макс
вакуумная камера	вакуумная камера: 150 мм с внутренним диаметром 165 мм и диаметром 150 мм, изготовленная из кварца высокой чистоты уплотнительный фланец из нержавеющей стали с плоским уплотнительным кольцом
Ступень образца с нагревателем	размер сцены: диаметр 50 мм Диапазон распыления: 25 - 40 мм, регулируемый вращающийся столик с тремя положениями распыления (управляется сенсорным экраном) нагреватель подложки встроенный с максимальной температурой нагрева 500 ° С Пид-регулятор температуры с точностью +/- 1 ° C встроен в сенсорный экран
панель управления	6-дюймовый цветной сенсорный экран с интеграцией PLC для удобства эксплуатации вакуумный датчик, измеритель тока распыления и контроль температуры подложки встроены в сенсорную панель регулировочные ручки на передней панели для управления подачей газа и током распыления Положение распыления, таймер распыления и регистрация процесса доступны с сенсорного экрана
щит	нержавеющая сталь защитная клетка включен для дополнительной защиты
распыляющие мишени	целевые требования к размерам: диаметр 47 мм м 2,5 мм Три цели включены в стандартную комплектацию для немедленного использования: цель Диаметром 47 мм х 0,12 мм Ag цель Диаметром 47 мм х 0,5 мм мишень Диаметром 47 мм х 2,5 мм различные цели доступны для заказа на tmax
вакуумный насос (необязательный)	встроенный вакуумный порт kf25 для подключения к вакуумному насосу. требуется вакуумный насос с разъемом kf25, но не входит в комплект. пользователь может выбрать A двухступенчатый механический вакуумный насос для вакуума до 1,0e-2 торр. или турбонасос для вакуума до 1,0e-5 торр вакуумный насос может быть подключен к розетке слева от машины для автоматического управления
размеры	440 мм l × 330 мм w × 455 мм ч
вес нетто	50 кг
соблюдение	утверждение CE Соответствующая сертификация (ul 1450) предоставляется по запросу за дополнительную плату, пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым представителем для уточнения стоимости
гарантия	один год ограничен пожизненной поддержкой
замечания по применению	Для лучшей адгезии пленки к подложке, пожалуйста, очистите поверхность подложки перед нанесением покрытия: ультразвуковая очистка с использованием следующих последовательных ванн - (1) ацетона, (2) изопропилового спирта - для удаления масла и жира. высушить подложку с помощью n2, затем выпекать в горячем состоянии в вакууме для удаления поглощенной влаги плазменная очистка может потребоваться для шероховатости поверхности, активации поверхностных химических связей или дополнительного удаления загрязнений тонкий буферный слой (~ 5 нм), такой как cr, ti, mo, ta, может быть нанесен для улучшения адгезии металлов и сплавов двухступенчатый регулятор давления (не входит в комплект) должен быть установлен на газовом баллоне, чтобы ограничить выходное давление газа ниже 0,02 мПа для безопасного использования. пожалуйста, используйте & gt; Газ чистоты 5n для плазменного напыления установка для распыления может быть помещена в перчаточный ящик с газом Ar и N2 для нанесения покрытия высокое напряжение! распыляющие головки подключаются к высокому напряжению. в целях безопасности оператор должен выключить оборудование перед загрузкой образца и операциями смены цели Эта модель не подходит для покрытия легких металлических материалов, таких как Al, MG, ZN, Ni и т. д. из-за низкой энергии. Пожалуйста, обратите внимание на наше устройство для нанесения магнетронным распылением или устройство для термического испарения. нажмите на картинку ниже для деталей

Plasma Sputtering Coater

пакет:

1 стандартная экспортируемая упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя экспортная упаковка из деревянной коробки.

2 доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3 ответственность за повреждение во время процесса доставки, заменит поврежденную часть для вас бесплатно.

срок поставки : 15-20 дней после подтверждения заказа, дата доставки должна быть определена в соответствии с

сезон производства и количество заказа.

Горячие Теги : установка для плазменного напыления установка для плазменного напыления 3 поворотных мишени