конструкция печи
|
-
печь, два регулятора температуры, двухканальные газовые расходомеры встроены в подвижную раму из алюминиевого сплава.
-
камера изготовлена из кварцевой трубки из плавленого кварца высокой чистоты с 11 "od / 10.8" id x 9 "h.
-
вакуумные фланцы изготовлены из нержавеющей стали 316 и поднимаются с помощью электродвигателя.
-
две 5 "x5" ик нагревательные пластины и расстояние регулируются.
-
верхний держатель образцов вращается со скоростью 0 - 7 об / мин.
|
|
|
-
верхний фланец с одним вакуумным отверстием kfd-25 и одним выходным отверстием для газа (требуется труба 1/4 ") может скользить вверх или вниз вручную, чтобы легко загружать и выгружать подложку и испаряемый материал.
-
нижний фланец имеет один вакуумный порт KFD-25 с одним впускным отверстием для газа (требуется труба 1/4 ") с игольчатыми клапанами.
-
фланец уплотнен двойными силиконовыми уплотнительными кольцами и может достигать макс. вакуумное давление 10е-2 торр по качеству механический насос и 10e-5 торр с помощью молекулярного насоса (вакуумный насос не входит, пожалуйста, заказывайте отдельно).
-
один цифровой вакуумметр установлен на верхнем фланце.
-
прецизионный антикоррозийный цифровой вакуумметр в стандартной комплектации (с 2016.03.24 г.) ,
|
нагреватель и держатель образца
|
-
два независимо управляемых нагревателя с регулируемым вручную зазором от 2 до 30 мм.
-
В качестве нагревательного элемента для быстрой термической обработки используются 20 галогенных ламп.
-
Нагреватели изготовлены из нержавеющей стали с водяным охлаждением для уменьшения теплового излучения и способны к быстрому охлаждению.
-
Диаметр 5 дюймов. Держатель круглой пластины встроен в верхний нагреватель для удержания подложки.
-
В комплект входит один набор высокопроводящих пластин из алюминия (5 дюймов диаметром 0,5 мм) (поместите его на тыльную сторону подложки, чтобы она равномерно нагревалась).
-
охладитель оборотной воды 58 л / мин включен для экономии воды (нажмите на картинку ниже, чтобы увидеть подробные характеристики).
-
верхний держатель образца вращается с регулируемой скоростью 0 - 7 об / мин
|
регулятор температуры
|
-
два прецизионных цифровых температурных контроллера с программируемыми 30 сегментами обеспечивают независимое управление верхним и нижним нагревателями.
-
Каждый контроллер имеет функцию автонастройки pid для защиты нагревателей от перерегулирования и функцию сигнализации для предотвращения повреждения тепловых пар перегревом.
-
интерфейс связи с ПК и усилитель; Программное обеспечение установлено для (нажмите на картинку ниже для подробной информации) записи температурного профиля, показанного ниже.
-
|
рабочая температура
|
-
максимальная температура для каждого нагревателя: ≤ 800ºC.
-
Максимальная разница температур между двумя нагревателями: ≤ 300ºC зависит от расстояния между двумя нагревателями:
-
расстояние 30 мм макс. разница во времени: 315ºC при нагреве только дна
|
|
отопление и усиление скорость охлаждения
|
-
отопление: & lt; 8ºC / с (только один нагреватель)
-
охлаждение: & lt; 10ºC / с (600 - 100ºC) макс.
|
|
термальная пара
|
две тепловые пары типа K устанавливаются на верхнем и нижнем нагревателях отдельно.
|
|
рабочее напряжение
|
208 - 240 В, однофазный, 50а, воздушный выключатель
|
|
потребляемая мощность
|
Всего 10 кВт
|
вес груза и измерение
|
-
два поддона: 525 фунтов и 48 "x 40" x 87 "и 165 фунтов с размером 39x31x29"
|
необязательный
|
-
требуется один вакуумный насос. пожалуйста, заказывайте отдельно, нажав на первую картинку слева внизу. уровень вакуума может достигать ≤ 10e-2 торр с помощью механического насоса.
-
при использовании агрессивных газов, пожалуйста, используйте холодную ловушку или антикоррозийный сухой насос, показанный на рисунке 2-3 за дополнительную плату.
-
Вы можете выбрать цифровую систему подачи газа MFC, нажав на первое изображение справа внизу.
|
|
гарантия
|
один год ограничен сроком службы (на расходные материалы, такие как кварцевые трубки и нагревательные лампы, гарантия не распространяется).
|
заметки по применению и усиление предупреждения
|
-
Трубчатые печи с кварцевой трубкой предназначены для использования под вакуумом и низким давлением & lt; 0,2 бара / 3 фунта / кв. Дюйм / 0,02 мПа. вакуумные давления можно безопасно использовать только до 1000 ° C. скорость потока для газов должна быть ограничена до & lt; 200 sccm (или 200 мл / мин) для уменьшения тепловых ударов в трубу.
-
A ttention : двухступенчатый регулятор давления должен быть установлен на газовом баллоне, чтобы ограничить давление ниже 3 фунтов на квадратный дюйм для безопасной работы.
-
подставка для этой печи предназначена только для перевозки на короткие расстояния по ровной поверхности (без ям или выступов).
|
Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
