|
функции
|
-
5 магнетронных распылительных пистолетов для 5 различных целевых материалов
-
в зависимости от используемых источников питания (ВЧ или постоянного тока) могут быть нанесены как металлические, так и неметаллические материалы.
-
способен распылять 5 целевых материалов для получения различных композиций с различными временами / скоростями распыления
-
с дополнительными 5 блоками питания можно одновременно распылять 5 целевых материалов для комбинаторного распыления
-
16 образцов могут быть помещены в одну партию с маской и вращающимся держателем образца
|
|
входная мощность
|
-
однофазный 220 В, 50/60 Гц
-
1000 Вт (включая вакуумный насос и охладитель воды)
|
|
источник питания
|
-
один высокочастотный генератор с автоподстройкой частоты 13,5 МГц и мощностью 300 Вт включен в комплект и подключен к распылительным головкам
-
Поворотный переключатель может активировать одну распылительную головку за раз. распылительные головки можно переключать «в плазме» без разрыва вакуума во время многослойного процесса.
-
несколько ВЧ источников питания являются опциональными, что позволяет пользователю одновременно распылять несколько мишеней для комбинаторного распыления
-
За дополнительную плату предоставляется ноутбук с программным обеспечением для контроля времени и мощности распыления каждого ВЧ-пистолета.
|
|
необязательный
|
-
Вы можете выбрать источник постоянного тока для распыления металлической мишени
-
с пятью источниками постоянного или высокочастотного питания можно одновременно распылять 5 целевых материалов для комбинаторного распыления
|
|
магнетронная распылительная головка
|
-
пять 1 "магнетронных распылительных головок с рубашками водяного охлаждения включены и вставлены в кварцевую камеру с помощью быстрых зажимов
-
замену ВЧ кабеля можно приобрести на tmax
-
один затвор с ручным управлением построен на фланце (см. рис. 3)
-
один охлаждающий охладитель с рециркуляцией воды 10 л / мин для охлаждения распылительных головок
-
|
|
мишень для распыления
|
-
Требуемое значение размера: 1 "диаметр х 1/8" толщина макс.
-
диапазон распыления: 50 - 80 мм, регулируемый
-
диапазон угла распыления: 0 - 25 ° регулируемый
-
1 "диаметр мишени и все 2 о 3 цели включены для демонстрационного тестирования
-
различные оксидные 1 ”мишени для распыления доступны по запросу за дополнительную плату
-
для приклеивания мишени включены медные опорные плиты 1 мм и 2 мм. эпоксидная смола серебра (рис. 1) и дополнительные медные опорные плиты (рис. 2) можно заказать на tmax
|
|
вакуумная камера
|
-
вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали 304 с ребром жесткости
-
размер внутренней вакуумной камеры: 470 мм l × 445 мм d × 522 мм ч (~ 105 литров, 18,5 x 17,5 x 20,5 дюймов)
-
круглый диам. 380 мм распашная дверь со стеклянным окном диаметром 150 мм
-
диапазон температур: от -15 до 150 ° C
-
уровень вакуума: 4.0e-5 торр с турбонасосом
|
|
держатель образца
|
-
Вращающийся держатель образцов диаметром 150 мм для нанесения покрытия на 16 образцов одной партии с различными составами
-
Держатель образца и вращение маски можно контролировать вручную с помощью кнопки или автоматически с помощью управляющего программного обеспечения (опция)
-
температура держателя образца регулируется от rt до 600 ° C макс.
|
|
вакуумный насос
|
-
Вакуумный порт kf40 встроен для подключения к вакуумному насосу.
-
компактный турбонасос включен
-
4.0e-5 торр с дополнительным турбонасосом
|
|
необязательный
|
-
прецизионный кварцевый датчик толщины не является обязательным. он может быть встроен в камеру для контроля толщины покрытия с точностью до 0,1 Å (требуется водяное охлаждение)
-
Простое USB-подключение к ПК для удаленного контроля толщины и скорости нанесения покрытия.
-
5 шт. Кварцевые датчики (расходные материалы) включены
|
|
вес нетто
|
|
|
соблюдение
|
-
утверждение CE
-
Соответствующая сертификация (ul 1450) предоставляется по запросу за дополнительную плату, пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым представителем для уточнения стоимости.
|
|
гарантия
|
-
ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой
|
|
замечания по применению
|
-
Этот компактный 1-дюймовый высокочастотный магнетронный распылитель предназначен для нанесения оксидных тонких пленок на оксидные монокристаллические подложки, которые обычно не требуют установки в высоком вакууме.
-
двухступенчатый регулятор давления (не входит в комплект) должен быть установлен на газовом баллоне, чтобы ограничить выходное давление газа ниже 0,02 мПа для безопасного использования. пожалуйста, используйте & gt; Газ чистоты 5n для плазменного напыления
-
Для лучшей адгезии пленки к подложке, пожалуйста, очистите поверхность подложки перед нанесением покрытия:
-
ультразвуковая очистка с использованием следующих последовательных ванн - (1) ацетона, (2) изопропилового спирта - для удаления масла и жира. высушить подложку с помощью n2, затем выпекать в горячем состоянии в вакууме для удаления поглощенной влаги
-
плазменная очистка может потребоваться для шероховатости поверхности, активации поверхностных химических связей или дополнительного удаления загрязнений
-
тонкий буферный слой (~ 5 нм), такой как cr, ti, mo, ta, может быть нанесен для улучшения адгезии металлов и сплавов
-
для лучшей производительности, непроводящие цели должны быть установлены с медным опорной плитой. пожалуйста, обратитесь к инструкции видео ниже (# 3) для целевого соединения
-
Лит поставляет монокристаллическую подложку от А до Я
-
Литературные установки для плазменного напыления успешно нанесли покрытие 2 о 3 субстрат при 500 ° С
-
проверить гибкость тонкой пленки / покрытого электрода с тестер изгиба оправки eq-mbt-12-ld ,
-
высокое напряжение! распыляющие головки подключаются к высокому напряжению. в целях безопасности оператор должен выключить ВЧ генератор перед загрузкой образца и операциями по смене цели
-
не используйте водопроводную воду в охладителе воды. используйте охлаждающую жидкость, воду, дистиллированную воду или антикоррозийные добавки с водой
-
|
Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
