Отправить по электронной почте:Louis@lithmachine.com
Продукция
Главная Продукция печь Печи печи

1200 ° C pe / cvd печь с ВЧ генератором и системой смешивания и перекачки газа

Свяжитесь с нами

  • Contact Person : Louis Yang
  • Отправить по электронной почте : Louis@lithmachine.com
  • Адрес : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
1200 ° C pe / cvd печь с ВЧ генератором и системой смешивания и перекачки газа 1200 ° C pe / cvd печь с ВЧ генератором и системой смешивания и перекачки газа

1200 ° C pe / cvd печь с ВЧ генератором и системой смешивания и перекачки газа

  • :

    LITH-1200PECVD
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    5 days
  • Отправить по электронной почте :

    Louis@lithmachine.com

1200 ° C pe / cvd печь с ВЧ генератором и газовой смесью & amp; насосная система



Лит-1200pecvd химические осаждения из паровой фазы (cvd) и многозонные печи с раздельными трубами с улучшенной плазмой для химического осаждения из паровой фазы (pecvd) оснащены известными Kanthal & Рег; (Швеция) нагревательные элементы, встроенные в высокое качество Mitsubishi & Рег; (Япония) Изоляция из глиноземного волокна. весь стальной двухслойный корпус обеспечивает долговечность и помогает минимизировать потери тепла на внешнюю поверхность.

работа печи контролируется shimaden & Рег; (Япония) 40-сегментный цифровой контроллер со встроенным цифровым коммуникационным портом RS485 и USB-адаптером, позволяющий пользователю подключаться к ПК для дистанционного управления и контроля печи. Вы также можете сохранить или экспортировать результаты теста.

Все наши печи соответствуют требованиям CE.

функции

1 компактный, портативный и легкий дизайн.

2 Требуются более низкие температуры обработки по сравнению с обычными CVD.

3 Напряжение пленки может контролироваться методами смешивания высоких / низких частот.

4 камера с разделенной печью для быстрого и удобного доступа к трубам.

5 В стандартную комплектацию входит набор вакуумных уплотнительных фланцев из нержавеющей стали с клапанами и измерителем давления.

6 микропроцессорное самонастраивающееся управление пид обеспечивает оптимальный тепловой процесс с минимальным перерегулированием

7 возможны процессы с несколькими атмосферами в одном цикле (например, сгорание связующего на воздухе и спекание деталей в условиях сильного вакуума или инертного газа)

8 встроенный амперметр и два вольтметра для простого мониторинга и устранения неисправностей.

9 встроенный компьютерный интерфейс.

10 Тип термопары с длительным сроком службы.

11 Опция скольжения печи обеспечивает сверхбыструю скорость охлаждения

безопасность

1 Защита от перегрева отключает печь, если температура выходит за пределы допустимого диапазона (см. руководство по эксплуатации контроллера), или если термопара сломана или неисправна.

2 Защита от сбоя питания возобновляет работу печи сразу после сбоя при восстановлении питания.

предупреждение! Никогда не заполняйте печь взрывоопасными газами, включая водород, угарный газ и метан


характеристики печи, вакуумного насоса и системы смешивания газов

материал трубы

кварц

нагревательный элемент

Kanthal & Рег; катушка сопротивления (Швеция)

Максимум. против постоянных рабочих температур

1200 ° C макс. и постоянная 1100 ° С

тип термопары

К

огнеупорная футеровка

Mitsubishi & Рег; (Япония) волокно глинозема сорта 1500

регулятор температуры

shimaden & Рег; (Япония) fp93 с 4 программами и 40 сегментами
(т.е. 4 х 10 сегментов или 2 х 20 сегментов)

максимальный нагрев и усиление скорость охлаждения

& Lt; 30 ° С / мин

точность регулятора температуры

+/- 1 ° C (+/- 1,8 ° F)

вакуумный уплотнительный фланец

вакуумные уплотнительные фланцы из нержавеющей стали с одним вакуумметром,
два клапана и четыре термокерамических блока.

электрические требования

208-240 В, 50/60 Гц, однофазный



технические характеристики ВЧ генератора

электрические требования

208-240 вольт 50/60 Гц

выходная мощность

От 5 до 500 Вт, с шагом +/- 1%

рф частота

13 МГц со стабильностью +/- 0,005%

сила отражения

Макс. 200 Вт

согласование

автоматический

рф выходной порт

50 Ω, n-тип, женский

охлаждение

воздух

стандартная упаковка

описание части

количество

часть изображения

сплит трубчатая печь

1 комплект

многоканальная система газоснабжения

1 комплект

плазменный радиочастотный источник питания (опция)

1 комплект

вакуумный насос и корпус (опция)

1 комплект

кварцевая трубка

1 шт

аналоговый расходомер

1 шт

вакуумные уплотнительные фланцы из нержавеющей стали с измерителем давления

1 комплект



крюк из нержавеющей стали

1 шт



глинозем керамический термоблок

2 пары



термальные перчатки

1 пара

запасной предохранитель

2 шт

комплект интерфейса компьютера usb / rs485

1 комплект





PE/CVD Furnace

PE/CVD Furnace










пакет:

1 стандартная экспортируемая упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя упаковка из деревянной коробки.

2 доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3 ответственность за повреждение во время процесса доставки, заменит поврежденную часть для вас бесплатно.

срок поставки : 15-20 дней после подтверждения заказа, дата доставки должна быть определена в соответствии с

сезон производства и количество заказа.