:
LITH-1200PECVDMOQ :
1Compliance:
CEWarranty:
2 yearsDelivery Time:
5 daysОтправить по электронной почте :
Louis@lithmachine.com1200 ° C pe / cvd печь с ВЧ генератором и газовой смесью & amp; насосная система
Лит-1200pecvd химические осаждения из паровой фазы (cvd) и многозонные печи с раздельными трубами с улучшенной плазмой для химического осаждения из паровой фазы (pecvd) оснащены известными Kanthal & Рег; (Швеция) нагревательные элементы, встроенные в высокое качество Mitsubishi & Рег; (Япония) Изоляция из глиноземного волокна. весь стальной двухслойный корпус обеспечивает долговечность и помогает минимизировать потери тепла на внешнюю поверхность.
работа печи контролируется shimaden & Рег; (Япония) 40-сегментный цифровой контроллер со встроенным цифровым коммуникационным портом RS485 и USB-адаптером, позволяющий пользователю подключаться к ПК для дистанционного управления и контроля печи. Вы также можете сохранить или экспортировать результаты теста.
Все наши печи соответствуют требованиям CE.
функции
1 компактный, портативный и легкий дизайн.
2 Требуются более низкие температуры обработки по сравнению с обычными CVD.
3 Напряжение пленки может контролироваться методами смешивания высоких / низких частот.
4 камера с разделенной печью для быстрого и удобного доступа к трубам.
5 В стандартную комплектацию входит набор вакуумных уплотнительных фланцев из нержавеющей стали с клапанами и измерителем давления.
6 микропроцессорное самонастраивающееся управление пид обеспечивает оптимальный тепловой процесс с минимальным перерегулированием
7 возможны процессы с несколькими атмосферами в одном цикле (например, сгорание связующего на воздухе и спекание деталей в условиях сильного вакуума или инертного газа)
8 встроенный амперметр и два вольтметра для простого мониторинга и устранения неисправностей.
9 встроенный компьютерный интерфейс.
10 Тип термопары с длительным сроком службы.
11 Опция скольжения печи обеспечивает сверхбыструю скорость охлаждения
безопасность
1 Защита от перегрева отключает печь, если температура выходит за пределы допустимого диапазона (см. руководство по эксплуатации контроллера), или если термопара сломана или неисправна.
2 Защита от сбоя питания возобновляет работу печи сразу после сбоя при восстановлении питания.
предупреждение! Никогда не заполняйте печь взрывоопасными газами, включая водород, угарный газ и метан
характеристики печи, вакуумного насоса и системы смешивания газов
материал трубы |
кварц |
нагревательный элемент |
Kanthal & Рег; катушка сопротивления (Швеция) |
Максимум. против постоянных рабочих температур |
1200 ° C макс. и постоянная 1100 ° С |
тип термопары |
К |
огнеупорная футеровка |
Mitsubishi & Рег; (Япония) волокно глинозема сорта 1500 |
регулятор температуры |
shimaden & Рег; (Япония) fp93 с 4 программами и 40 сегментами |
максимальный нагрев и усиление скорость охлаждения |
& Lt; 30 ° С / мин |
точность регулятора температуры |
+/- 1 ° C (+/- 1,8 ° F) |
вакуумный уплотнительный фланец |
вакуумные уплотнительные фланцы из нержавеющей стали с одним вакуумметром, |
электрические требования |
208-240 В, 50/60 Гц, однофазный |
технические характеристики ВЧ генератора
электрические требования |
208-240 вольт 50/60 Гц |
выходная мощность |
От 5 до 500 Вт, с шагом +/- 1% |
рф частота |
13 МГц со стабильностью +/- 0,005% |
сила отражения |
Макс. 200 Вт |
согласование |
автоматический |
рф выходной порт |
50 Ω, n-тип, женский |
охлаждение |
воздух |
стандартная упаковка
описание части
|
количество
|
часть изображения
|
сплит трубчатая печь |
1 комплект |
|
многоканальная система газоснабжения |
1 комплект |
|
плазменный радиочастотный источник питания (опция) |
1 комплект |
|
вакуумный насос и корпус (опция) |
1 комплект |
|
кварцевая трубка |
1 шт |
|
аналоговый расходомер |
1 шт |
|
вакуумные уплотнительные фланцы из нержавеющей стали с измерителем давления |
1 комплект |
|
крюк из нержавеющей стали |
1 шт |
|
глинозем керамический термоблок |
2 пары |
|
термальные перчатки |
1 пара |
|
запасной предохранитель |
2 шт |
|
комплект интерфейса компьютера usb / rs485 |
1 комплект |
|
1 стандартная экспортируемая упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя упаковка из деревянной коробки.
2 доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.
3 ответственность за повреждение во время процесса доставки, заменит поврежденную часть для вас бесплатно.
срок поставки : 15-20 дней после подтверждения заказа, дата доставки должна быть определена в соответствии с
сезон производства и количество заказа.