Отправить по электронной почте:Louis@lithmachine.com
Продукция
Главная Продукция печь раздвижная печь

небольшая 4-дюймовая трубчатая печь с турбомолекулярной вакуумной станцией

Свяжитесь с нами

  • Contact Person : Louis Yang
  • Отправить по электронной почте : Louis@lithmachine.com
  • Адрес : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
небольшая 4-дюймовая трубчатая печь с турбомолекулярной вакуумной станцией

небольшая 4-дюймовая трубчатая печь с турбомолекулярной вакуумной станцией

  • :

    LITH-1200X-RTP-HV-LD
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    5 days
  • Отправить по электронной почте :

    Louis@lithmachine.com

небольшая 4-дюймовая трубчатая печная печь с турбомолекулярной вакуумной станцией и комплектными принадлежностями


Лит-1200x-РТП-хв-л.д. это Сертифицированная компактная трубчатая печь для быстрой термической обработки ul (4 дюйма) с высоковакуумной станцией (мембранный насос + турбомолекулярный насос) и вакуумным фланцем kf-d25 в сборе. Предназначена для отжига полупроводниковой пластины или солнечного элемента диаметром до 3 дюймов. печь обогревается 8 единицами галогенового света мощностью 1 кВт вокруг рабочей трубы с макс. скорость нагрева макс. 50c / сек. Прецизионный регулятор температуры на 50 сегментов встроен с точностью +/- 1 ° с.


печь

состав

компактная 4-дюймовая трубчатая печь RTP ( двухслойный стальной футляр из муллита)

нагревательный элемент

8 шт. Галогенная лампа (d = 10 л = 300 т = 200 мм)

рабочая темп.

1100 ° C макс. ( Максимальное время выдержки этой печи RTP должно быть менее 600 секунд при 1000ºC ~ 1100ºC, в противном случае уплотнительное кольцо может расплавиться. )

максимальная скорость нагрева

50 ° C / сек

максимальная скорость охлаждения

64 ° С / мин (под вакуумом: 200 мторр), 117 ° С / мин (под атмосферным давлением)

зона нагрева

12 "длина с 4" постоянной температурной зоной в пределах +/- 1 ° C однородности

темп программы контроллер

  • автоматическое управление пид через scr (управляемый кремнием выпрямитель) управление мощностью с фазовым углом, токоограничивающий резистор.
  • 30 программируемых сегментов для точного контроля скорости нагрева, скорости охлаждения и времени выдержки.
  • пожалуйста, нажмите здесь, чтобы узнать, почему scr точнее, чем ssc (твердотельное реле).
  • встроенная функция автоматической настройки pid с перегревом и усилителем; сломанная термопара сломанная защита.
  • Защита от перегрева и сигнализация позволяют работать без обслуживающего персонала (ов).
  • Точность температуры +/- 1 ºC.
  • Порт связи RS485.
  • управление компьютером:
    • A мтс-02 модуль управления включен для управления компьютером на этой печи.
    • новая версия компьютерного модуля теперь совместима с лабораторным представлением 05.08.2014
    • Ноутбук можно заказать за 900 долларов вместе с печью. мы рекомендуем заказывать компьютер (ноутбук), чтобы избежать проблем с установкой программного обеспечения, так как мы выполним установку и тестирование перед отправкой ,

кварцевая трубка & amp; держатель образца

  • размер кварцевой трубки: 4,33 "x 4,05" 16,2 "длина
  • Держатель образца диаметром 3 дюйма вставлен в скользящий фланец, выполненный из кварца
  • одну пластину диаметром 3 дюйма помещают в центр держателя для отжига образца диаметром до 3 дюймов.
  • Aln обладает очень высокой теплопроводностью, что обеспечивает наилучшую однородность температуры в области образца
  • держатель образца снимается с фланца

вакуумный фланец

Фланец высокого вакуума kf-d25 изготовлен из нержавеющей стали с двойной высокой температурой. силиконовые уплотнительные кольца, игольчатые клапаны.
Скользящий фланец облегчает загрузку образца. 3 "кварцевый держатель образца. Вставная термопара для точного измерения.

рубашка водяного охлаждения

  • требуется охлаждающая вода.
  • пожалуйста, убедитесь, что расход охлаждающей воды ≥ 10 л / мин, температура воды. & Lt; 25ºC; давление & gt; 25 фунтов на квадратный дюйм
  • мы предлагаем использовать серию eq-kj5000 чиллер с рециркуляцией воды в качестве системы охлаждения (пожалуйста, заказывайте отдельно у сопутствующих товаров ниже) для экономии воды.

Предупреждение: максимальное время пребывания в этой печи должно составлять менее 600 секунд при температуре 1000 - 1100 ° С с водопроводной водой, иначе уплотнительное кольцо может расплавиться. с использованием холодильника с рециркуляцией воды это время может быть увеличено до 1200 секунд.

расходомер

один расходомер установлен на передней панели для регулировки расхода газа от 0 до 160 мл / мин.

входная мощность

208-240 переменного тока, 50/60 Гц, однофазный, макс. (& gt; требуется выключатель 60a)

станция
станция высокого вакуума

состав

  • Размер мобильной тележки: 600 (л) х 600 (ш) х 700 (ш), мм
  • Максимум. нагрузка: 600 фунтов сверху
  • Панель управления молекулярным насосом: ЖК-цифровой
  • мембранный насос а также турбомолекулярный насос установлены внутри стального корпуса.

степень вакуума

6,3e-5 мбар (с 4-дюймовой трубчатой ​​печью RTP за 40 минут)

панель управления

  • управление одной кнопкой - мембранный насос и турбомолекулярный насос запустятся после нажатия кнопки «пуск».
  • управляемая системой скорость вращения - контроллер будет контролировать скорость вращения турбины вверх и вниз в соответствии с уровнем вакуума и скоростью протекания реакционной камеры.
  • самозащита - система защитит насос от повреждения перегревом и перегрузкой, если скорость утечки из реакционной камеры слишком высока для достижения высокого вакуума.
  • жк-экран - интерфейс проверки параметров двойных линий сделать работу проще для обработки.
самопроверка раскручивается

время запуска

2 минуты

объемный расход вспомогательного насоса при 10 мбар

3,8 л / мин для 50 Гц и 4,4 л / мин для 60 Гц

входная мощность

110 В переменного тока или 220 В переменного тока с возможностью переключения, 50/60 Гц

потребляемая мощность

длительность / максимальная мощность: 100/110 Вт

Информация о доставке

вес и габариты

Печь RTP: 110 фунтов, 760 x 330 x 530 мм (30 x 13 x 21 дюйм), l x w x h
ВЧ станция: 40 фунтов, 600 х 600 х 700 мм (24 "х 24" х 28 ") Д х Ш х В

гарантия

двухлетняя ограниченная гарантия с пожизненной поддержкой (Расходные детали, такие как технологические трубки, уплотнительные кольца, не покрываются гарантией, закажите запасные части в соответствующих продуктах ниже.)

ноутбук, программное обеспечение и управление Wi-Fi (опционально)

  • Новый ноутбук с Microsoft Windows 10 и Microsoft Office 2013 (30-дневная бесплатная пробная версия) для немедленного использования.
  • система контроля температуры на основе labview позволяет пользователю редактировать температурный профиль, управлять рецептурой термообработки, записывать и наносить данные для печей mti.
  • беспроводной пульт дистанционного управления обеспечивает рабочий диапазон до 300 метров.
  • вышеуказанные функции доступны по запросу за дополнительную плату (до 1000 долларов США). Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительной информации.

соблюдение

  • сертифицированный CE
  • печь готова к прохождению ul 61010, iec 61010, spe-1000, протестированному nrtls за дополнительную плату. пожалуйста, свяжитесь с нами для цитаты и подробной информации.
  • регулятор температуры соответствует требованиям и сертифицирован CE
  • Станция высокого вакуума сертифицирована ТУ



Tube Furnace









пакет:

1 стандартная экспортируемая упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя упаковка из деревянной коробки.

2 доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3 ответственность за повреждение во время процесса доставки, заменит поврежденную часть для вас бесплатно.

срок поставки : 15-20 дней после подтверждения заказа, дата доставки должна быть определена в соответствии с

сезон производства и количество заказа.