Отправить по электронной почте:Louis@lithmachine.com
Продукция
Главная Продукция Lab Coater Sputtering Coater

компактная двухзонная печь css для быстрой термической обработки с 11-дюймовой наружной кварцевой трубкой

Свяжитесь с нами

  • Contact Person : Louis Yang
  • Отправить по электронной почте : Louis@lithmachine.com
  • Адрес : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
компактная двухзонная печь css для быстрой термической обработки с 11-дюймовой наружной кварцевой трубкой

компактная двухзонная печь css для быстрой термической обработки с 11-дюймовой наружной кварцевой трубкой

  • :

    OTF-1200X-RTP-II
  • MOQ :

    1
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

    5 days
  • Отправить по электронной почте :

    Louis@lithmachine.com

компактная двухзонная печь css для быстрой термической обработки с 11-дюймовой наружной кварцевой трубкой



otf-1200x-rtp-ii - печь для быстрой термической обработки с двумя зонами нагрева с 11-дюймовой наружной кварцевой трубкой. Она предназначена для пвд или css ( близко сублимация ) пленочное покрытие диаметром до 3 "или площадью 2" x2 ". Печь нагревается двумя группами галогенных нагревателей (сверху и снизу) отдельно с максимальной скоростью нагрева 20ºC / с. Два 30-сегментных прецизионных терморегулятора встроены в Точность +/- 1 ° C. Порт rs485 и программное обеспечение для управления включены для обеспечения возможности регистрации печи и профиля температуры с помощью ПК. Это превосходный инструмент для исследования тонких пленок нового поколения для солнечных элементов, таких как cdte, сульфид и p. эровските солнечный элемент.


технические характеристики:

структура печи & amp; вакуумная камера
Two Zones CSS Furnace

· двойной нагреватель, два регулятора температуры, двухканальные газовые расходомеры встроены в мобильную раму из алюминиевого сплава

· камера изготовлена ​​из кварцевой трубки из плавленого кварца высокой чистоты

· размер кварцевой трубки: 11 дюймов / 10,8 дюйма и x 9 дюймов

· вакуумные фланцы изготовлены из нержавеющей стали 316

· Габаритные размеры: 850 (л) × 745 (ш) × 1615 (ч) мм

вакуумные фланцы

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace

· верхний фланец с одним вакуумным отверстием kfd-25 и двумя газовыми выходами (требуется труба 1/4 ") может скользить вверх или вниз вручную, чтобы легко загружать и выгружать подложку и испаряемый материал

· нижний фланец имеет один вакуумный порт KFD-25 с двумя впускными отверстиями для газа (требуется труба 1/4 ") и игольчатыми клапанами

· фланец уплотнен двойными силиконовыми уплотнительными кольцами и может достигать максимального вакуумного давления 10e-2 торр с помощью качественного механического насоса и 10e-5 торр с помощью молекулярного насоса (вакуумный насос не входит в комплект, заказывайте отдельно)

· прецизионный антикоррозийный цифровой вакуумметр в стандартной комплектации (с 2016.03.24 г.) ,

расходомеры газа

Two Zones CSS Furnace

на панели управления установлены два поплавка с диапазоном измерения:

· 16 -160 мл / м

· 400 - 4000 мл / м (для очистки)

нагреватель и держатель образца
Two Zones CSS Furnace

Two Zones CSS FurnaceTwo Zones CSS Furnace

· две коротковолновые инфракрасные лампы в качестве нагревательных элементов для быстрого нагрева.

· расстояние между двумя нагревателями регулируется от 10 до 50 мм.

· нагреватели изготовлены из нержавеющей стали с водяным охлаждением, чтобы уменьшить тепловое излучение и обеспечить быстрое охлаждение

· 3-дюймовый круглый держатель вафли встроен с верхним нагревателем для загрузки подложки

· в комплект входит одна пластина из алюминия с высокой теплопроводностью (3 дюйма диаметром 0,5 мм), которая должна быть на задней стороне подложки для равномерного ее нагрева

· Одна 3-дюймовая графитовая пластина может использоваться как альтернатива для плоской пластины, пожалуйста, нажмите на картинку ниже, чтобы заказать.

· Замена галогенного светильника возможна за дополнительную плату.

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace



регулятор температуры

· два прецизионных цифровых температурных контроллера с программируемыми 30 сегментами предлагают независимое управление верхним и нижним нагревателями

· Каждый контроллер имеет функцию автонастройки pid для защиты нагревателей от перерегулирования и функцию тревоги, чтобы избежать перегрева и перегрева пары

· интерфейс связи с ПК и усилитель; установлено программное обеспечение для (нажмите на картинку ниже для подробной информации) для записи температурного профиля, показанного ниже



рабочая температура

· максимальная температура для каждого нагревателя: & lt; = 650ºC

· Максимальная разница температур между двумя нагревателями: & lt; = 300ºC зависит от расстояния между двумя нагревателями:

о расстояние 30 мм макс. разница во времени: 315ºC при нагреве только дна

о расстояние 40 мм макс. разница во времени: 350ºC при нагреве только снизу

о расстояние 50 мм макс. разница во времени: 395ºC при нагреве только дна

отопление и усиление скорость охлаждения

· отопление: & lt; 8ºC / с (только один нагреватель)

· охлаждение: & lt; 10ºC / с (600 - 100ºC) макс.

термальная пара

две тепловые пары типа k (открытые) устанавливаются на верхний и нижний нагреватели отдельно

рабочее напряжение

208 - 240 В, однофазный, 20а, воздушный выключатель

потребляемая мощность

Всего 2200 Вт (1100 Вт для каждого обогревателя)





необязательный

· требуется один вакуумный насос. пожалуйста, заказывайте отдельно, нажав на первую картинку слева внизу. уровень вакуума может достигать & lt; = 10e-2 торр с помощью механического насоса

· Если вы используете коррозийный газ, пожалуйста, рассмотрите возможность использования антикоррозионного сухого насоса, показанного на втором рисунке слева внизу (насос pfeiffer из Германии) за дополнительную плату.

· Вы можете заказать чиллер с оборотной водой для экономии воды отдельно

· Вы можете выбрать цифровую систему подачи газа MFC, нажав на первое изображение справа внизу.

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace

гарантия

один год ограничен сроком службы (на расходные материалы, такие как кварцевые трубки и нагревательные лампы, гарантия не распространяется)

ноутбук, программное обеспечение и управление Wi-Fi (опционально)

· Новый ноутбук с Microsoft Windows 10 и Microsoft Office 2013 (30-дневная бесплатная пробная версия) для немедленного использования.

· система контроля температуры на основе labview ( э-mts01 ) позволяет пользователю редактировать температурный профиль, управлять рецептурой термообработки, записывать и наносить данные для печей mti.

· беспроводной пульт дистанционного управления обеспечивает рабочий диапазон до 300 метров.

· вышеуказанные функции доступны по запросу за дополнительную плату (до 1000 долларов США). Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительной информации.

·

нота:
программное обеспечение совместимо только с контроллером температуры mti's yudian
Two Zones CSS FurnaceTwo Zones CSS Furnace ·

замечания по применению

пожалуйста, прочитайте статью: высокая эффективность css cdte солнечный элемент


предупреждение
Two Zones CSS Furnace

· Трубчатые печи с кварцевой трубкой предназначены для использования под вакуумом и низким давлением & lt; 0,2 бара / 3 фунта / кв. Дюйм / 0,02 мПа. вакуумные давления можно безопасно использовать только до 1000 ° C. скорость потока для газов должна быть ограничена до & lt; 200 sccm (или 200 мл / мин) для уменьшения тепловых ударов в трубу.

· внимание : двухступенчатый регулятор давления должен быть установлен на газовом баллоне, чтобы ограничить давление ниже 3 фунтов на квадратный дюйм для безопасной работы.





CSS Furnace









пакет:

1 стандартная экспортируемая упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя экспортная упаковка из деревянной коробки.

2 доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3 ответственность за повреждение во время процесса доставки, заменит поврежденную часть для вас бесплатно.

срок поставки : 15-20 дней после подтверждения заказа, дата доставки должна быть определена в соответствии с

сезон производства и количество заказа.