|
входная мощность
|
-
однофазный 220 В, 50/60 Гц
-
1000 Вт (включая вакуумный насос и охладитель воды)
-
если напряжение 110 В, трансформатор мощностью 1500 Вт можно заказать при tmax.
|
|
источник питания
|
-
13,5 МГц, ВЧ генератор 100 Вт с ручным согласованием включен и подключен к распылительным головкам
-
непрерывное рабочее время:
-
100 Вт: ≤ 1 час
-
80 Вт: ≤ 1,5 часа
-
70 Вт: ≤ 2 часа
-
60 Вт: ≤ 4 часа
-
50 Вт: ≤ 8 часов
-
диапазон нагрузки: 0 - 80 регулируемый. диапазон настройки: -200j - 200j регулируемый
-
Поворотный переключатель может активировать одну распылительную головку за раз. распылительные головки можно переключать «в плазме» (отсутствие разрыва вакуума и плазмы во время многослойного процесса)
-
с источником питания постоянного тока устройство для нанесения покрытия может быть легко преобразовано в 1 ”источники распыления постоянного тока для осаждения металлической пленки, что позволяет использовать конфигурации для трех постоянных, одного ВЧ / двух постоянного тока и двух ВЧ / одной распылительной головки постоянного тока. (нижняя левая картинка. пожалуйста, выберите из вариантов продукта)
-
дополнительный радиочастотный генератор с автоматическим соответствием мощностью 300 Вт доступен за дополнительную плату
|
|
магнетронная распылительная головка
|
-
три 1 "магнетронные распылительные головки с рубашками водяного охлаждения включены и вставлены в кварцевую камеру с помощью быстрых зажимов
-
замену ВЧ кабеля можно приобрести на tmax
-
один затвор с ручным управлением построен на фланце (см. рис. 3)
-
один охлаждающий охладитель с рециркуляцией воды 10 л / мин для охлаждения распылительных головок
-
|
|
мишень для распыления
|
-
Требуемое значение размера: 1 "диаметр х 1/8" толщина макс.
-
диапазон распыления: 50 - 80 мм, регулируемый
-
диапазон угла распыления: 0 - 25 ° регулируемый
-
1 "диаметр мишени и все 2 о 3 цели включены для демонстрационного тестирования
-
различные оксидные 1 ”мишени для распыления доступны по запросу за дополнительную плату
-
для целевого склеивания включены медные опорные пластины 1 мм и 2 мм. эпоксидная смола серебра (рис. 1) и дополнительные медные опорные плиты (рис. 2) можно заказать на tmax
|
|
вакуумная камера
|
-
вакуумная камера: 256 мм х 238 мм и высотой 276 мм из кварца высокой чистоты
-
уплотнительный фланец: диаметр 274 мм из алюминия с высокотемпературным силиконовым уплотнительным кольцом
-
Защитный кожух из нержавеющей стали включен для 100% защиты от радиочастотного излучения камеры
-
максимальный уровень вакуума: 1,0e-5 торр с дополнительным турбонасосом и камерой выпечки
|
|
держатель образца
|
-
Держатель образца представляет собой вращающуюся и нагреваемую сцену из керамического нагревателя с крышкой из нержавеющей стали.
-
Размер держателя образца: диаметр 50 мм. за. 2 "максимальная пластина (см. Рисунок ниже)
-
скорость вращения: 1 - 10 об / мин регулируется для равномерного покрытия
-
температура держателя регулируется от rt до 600 ° C макс. (5 мин. макс. при 600 ° C; 2 ч. макс. при 500 ° C) с точностью +/- 1,0 ° C с помощью цифрового контроллера температуры
|
|
вакуумный насос
|
-
Вакуумный порт kf40 встроен для подключения к вакуумному насосу.
-
уровень вакуума: 1,0e-2 торр с двухступенчатым механическим насосом в комплекте
-
1.0e-5 торр с дополнительным турбонасосом
|
|
необязательный
|
-
прецизионный кварцевый датчик толщины не является обязательным. он может быть встроен в камеру для контроля толщины покрытия с точностью до 0,1 Å (требуется водяное охлаждение)
-
Простое USB-подключение к ПК для удаленного контроля толщины и скорости нанесения покрытия.
-
5 шт. Кварцевые датчики (расходные материалы) включены
-
дистанционное управление температурным контроллером по выбору
-
Простое USB-подключение к ПК для дистанционного контроля температуры
-
программное обеспечение для контроля температуры входит в комплект. модуль совместим с labview
-
для магнетронного распыления постоянного тока рекомендуется турбонасос (рис. 3)
-
реактивное распыление с 2 или о 2 доступно с дополнительной станцией управления смешиванием газа.
-
|
|
размер
|
-
540 мм х 540 мм х 1000 мм ч
|
|
вес нетто
|
|
|
соблюдение
|
-
утверждение CE
-
Соответствующая сертификация (ul 1450) предоставляется по запросу за дополнительную плату, пожалуйста, свяжитесь с нашим торговым представителем для уточнения стоимости.
|
|
гарантия
|
-
ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой
|
|
замечания по применению
|
-
Этот компактный 1-дюймовый высокочастотный магнетронный распылитель предназначен для нанесения оксидных тонких пленок на оксидные монокристаллические подложки, которые обычно не требуют установки в высоком вакууме.
-
двухступенчатый регулятор давления (не входит в комплект) должен быть установлен на газовом баллоне, чтобы ограничить выходное давление газа ниже 0,02 мПа для безопасного использования. пожалуйста, используйте & gt; Газ чистоты 5n для плазменного напыления
-
Для лучшей адгезии пленки к подложке, пожалуйста, очистите поверхность подложки перед нанесением покрытия:
-
ультразвуковая очистка с использованием следующих последовательных ванн - (1) ацетона, (2) изопропилового спирта - для удаления масла и жира. высушить подложку с помощью n2, затем выпекать в горячем состоянии в вакууме для удаления поглощенной влаги
-
плазменная очистка может потребоваться для шероховатости поверхности, активации поверхностных химических связей или дополнительного удаления загрязнений
-
тонкий буферный слой (~ 5 нм), такой как cr, ti, mo, ta, может быть нанесен для улучшения адгезии металлов и сплавов
-
для лучшей производительности, непроводящие цели должны быть установлены с медным опорной плитой. пожалуйста, обратитесь к видео инструкции ниже (# 3) для целевого соединения
-
tmax поставляет монокристаллическую подложку от а до я
-
Установки плазменного напыления tmax rf успешно нанесли покрытие 2 о 3 подложка при температуре 500 ° C (профиль xrd на рис. 5)
-
проверить гибкость тонкой пленки / покрытого электрода с тестер изгиба оправки eq-mbt-12-ld ,
-
высокое напряжение! распыляющие головки подключаются к высокому напряжению. в целях безопасности оператор должен выключить ВЧ генератор перед загрузкой образца и операциями по смене цели
-
не используйте водопроводную воду в охладителе воды. используйте охлаждающую жидкость, воду, дистиллированную воду или антикоррозийные добавки с водой
-
|
Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
