добро пожаловать в машину батареи лит !
English français Deutsch italiano español português 日本語 Polski
Отправить по электронной почте:Louis@lithmachine.com
Продукция
Главная Продукция Lab Coater Sputtering Coater

компактная система термического испарения с 4 тиглями из испарительного источника

Свяжитесь с нами

  • Contact Person : Louis Yang
  • Отправить по электронной почте : Louis@lithmachine.com
  • Адрес : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
компактная система термического испарения с 4 тиглями из испарительного источника

компактная система термического испарения с 4 тиглями из испарительного источника

  • :

    GSL-1700X-EV4

  • MOQ :

    1

  • Compliance:

    CE Certified

  • Warranty:

    1 year

  • Delivery Time:

    5 days

  • Отправить по электронной почте :

    Louis@lithmachine.com

компактная система термического испарения с 4 тиглями из испарительного источника



gsl-1700x-ev4 - это компактная система термического испарения с 4 тиглями с испаряющимся источником и точным и программируемым контролем температуры. четыре испаряющихся тигля могут быть использованы для нанесения нескольких различных материалов для выращивания многослойных пленок одна за другой в одной и той же атмосфере камеры. Система подходит для покрытия большинства пленок из металлических и органических материалов размером до 2 "от 200 до 1500 ºC (или от 200 до 1700 ºC с помощью дополнительной термопары b-типа).

технические характеристики:

структура & amp; функции
Thermal Evaporating System

  • 280 мм наружный х 260 мм внутри х кварцевая камера высотой 310 мм для легкой очистки и загрузки образцов
  • Вращающиеся испаряющиеся источники диаметром 2 дюйма для равномерного пленочного покрытия
  • нагреватель вольфрамовой катушки и глиноземный тигель для высокотемпературного покрытия до 1700 ºC
  • точный контроль температуры с 30 программируемыми сегментами и точностью +/- 1 ºC
  • высокий вакуум может достигаться до 1,0e-5 торр с помощью дополнительного турбонасоса
  • порт подачи газа и клапан встроены для продувки камеры и возможности cvd

входная мощность
Thermal Evaporating System

  • входное напряжение: переменный ток 208 - 240 В, 50/60 Гц, однофазный (переменное напряжение 110 В доступно через трансформатор 1500 Вт)
  • потребляемая мощность: 1200 Вт
  • выходная мощность :: 12 В и 30 А макс. рекомендуемый рабочий ток & lt; 30 а
  • кабель питания в комплекте без штекера

контроль температуры & amp; обогреватели
Thermal Evaporating System

четыре тигля для выпаривания глинозема объемом 3 мл каждая. четыре источника не могут быть использованы одновременно. многослойный депозит будет сделан один за другим.
  • В нижней части глиноземного тигля встроен нагреватель с вольфрамовой катушкой и термопарой (для контроля температуры (рис. 1). Размеры указаны на левом рисунке).
  • стандартная термопара типа s (входит в комплект и устанавливается) - нагрев от 200 ° C до 1500 ° C (рис. 2)
  • дополнительная термопара b-типа (за дополнительную плату) - нагрев от 1200 ºc ​​до 1700 ºc
  • один цифровой регулятор температуры с 30 программируемыми сегментами и точностью +/- 1 ºC (рис. 3)
  • настройки времени регулятора температуры указаны в секундах. Рекомендуется ограничить скорость нагрева / охлаждения до 0,3 ºC / с (или 20 ºC / мин) ниже 1200 ºC, и ограничить до 0,15 ºc / с (или 10 ºc / мин) от 1200 - 1700 ºc.
  • для непрерывного нагрева выше 1300 ºC, пожалуйста, ограничьте время работы до 1 часа, чтобы сохранить срок службы уплотнительного кольца нижнего фланца
  • Для быстрого нанесения покрытия до 2000 ° C, например, необходимого для углеродного покрытия, пользователь может удалить термопару, глиноземный термоблок и глиноземный тигель, загрузить испарительный материал непосредственно в нагреватель вольфрамовой катушки и использовать текущий режим ручного управления (рис. 4). )
  • в комплект входят четыре тигля из глинозема (до 1700 ºC) и два вольфрамовых нагревателя. пожалуйста, обратитесь к дополнительному разделу для заказа запасных частей
  • Thermal Evaporating System

вращающийся держатель образца
Thermal Evaporating System

  • один диаметр 50 мм вращающийся образец ступени и его заслонка установлены на верхнем фланце.
  • скорость вращения: 5 об / мин
  • расстояние от держателя образца до источника испарения регулируется от 40 мм до 85 мм.

система анализа толщины пленки (опция)

прецизионная тонкая пленка & amp; системы анализа покрытий - eq-tfms-ld доступен за дополнительную плату.



вакуум

  • Вакуумный порт KF25 установлен для подключения к вакуумному насосу
  • самый высокий вакуум может достигать & lt; 1e-5 торр при прокачке в течение ночи с помощью дополнительного турбомолекулярного насоса
  • вакуумный насос требуется для покрытия. пожалуйста, выберите из следующих вариантов продукта
    • Двухступенчатый лопастной вакуумный насос с уловителем пара для устранения масляного тумана, который может достигать вакуума до 1,0e-2 Торр для испарения благородных металлических материалов, таких как золото, серебро и органические материалы.
  • Thermal Evaporating System

впуск газа

  • 1/4 трубный фитинг встроен для продувки камеры или обработки газа
  • один игольчатый клапан встроен для контроля скорости потока газа

необязательный

  • Дополнительный глиноземный тигель и нагреватель из вольфрамовой катушки можно заказать в tmax за дополнительную плату.

габаритный размер

Thermal Evaporating System

размер кварцевой камеры

o.d.:280 мм (11 ")
внутренний диаметр 260 мм (10,2 ")
длина: 310 мм (12,2 ")

соблюдение

  • сертификат ce

гарантия

  • ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой

вес нетто

  • 80 кг

вес груза и размеры

  • 200 фунтов, 40 "x 30" x 32 "

замечания по применению

  • для достижения высокого вакуума, необходимого для испарения некоторых материалов, пользователь может
    • проверьте камеру, уплотнительное кольцо и фланец на наличие частиц, волокон или царапин. используйте безворсовую ткань, смоченную изопропиловым спиртом (Ipa), чтобы протереть поверхность
    • используйте нагревательную ленту для обжига камеры при 150 ºC и предварительного нагревания нагревателя змеевика и тигля при 500 ºc ​​при перекачке с помощью дополнительного турбонасоса в течение не менее 2 часов
    • перекачивать камеру в течение ночи без нагрева, если требуется вакуум выше 1,0e-5 Торр
  • не запускайте программу отопления и не увеличивайте ток вручную без закрытой камеры и вакуума!
  • не выпускайте вакуум и не прекращайте прокачку, когда устройство для нанесения покрытий находится в режиме испарения! во время остывания нагревателя прекратите прокачивание или сбросьте вакуум только при снижении температуры ниже 100 ° С!




Thermal Evaporating System









пакет:

1 стандартная экспортируемая упаковка: внутренняя защита от столкновений, внешняя экспортная упаковка из деревянной коробки.

2 доставка экспресс, по воздуху, по морю в соответствии с требованиями клиентов, чтобы найти наиболее подходящий способ.

3 ответственность за повреждение во время процесса доставки, заменит поврежденную часть для вас бесплатно.

срок поставки : 15-20 дней после подтверждения заказа, дата доставки должна быть определена в соответствии с

сезон производства и количество заказа.





Горячие Теги : система термического испарения термическое испарение испаряющиеся источники тиглей

установка для магнетронного распыления

Машина для нанесения магнетронного распыления постоянного тока, предназначенная для покрытия проводящей золотой пленки

вакуумная термоиспарительная установка

вакуумная установка для нанесения покрытий с термическим испарением и контролем температуры

установка для плазменного напыления

Машина для нанесения покрытия с 3 вращающимися мишенями для плазменного напыления с нагревателем 500с

плазменный распылитель

компактная машина для нанесения двухслойного углеродного испарителя с плазменным напылением

установка для магнетронного распыления

Компактная установка для нанесения покрытия методом магнетронного напыления с интеграцией PLC

css печь

макс. 800 ° C css печь с двумя зонами вращения и нагрева и охлаждения

магнетронное напыление

компактная 2-дюймовая машина для напыления магнетронного плазменного магнетронного напыления для неметаллических тонких пленок

магнетронное распыление

компактное устройство для нанесения магнетронного распыления с двумя 2-дюймовыми мишенями